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質量氣體流量計

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MF5000 工業用-質量式氣體流量計 / 質量流量計 (Mass Flow Meter / Gas Flow Meter)

※「防爆」與「輸出」功能僅能擇一

MF5000 質量式氣體流量計/ 質量流量計 / 熱質式流量計 / 熱質式質量流量計

MF5000 MEMS質量式氣體流量計 / 質量流量計 / 熱質式流量計 / 熱質式質量流量計
MF5000 專為工業環境設計，在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計量程比大大提升，

管徑范圍3.0mm~19.0mm，具有多種信號輸出及通訊接口本產品在性能、安裝可廣泛應用于

石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域

【測量類型】
氧氣、氮氣、氦氣、氫氣、氬氣、壓縮氣體、甲烷、液化石油氣、天然氣、二氧化碳...等

【應用環境】
工業制造業的用氣測量及程控、
醫療設備 (如：醫療麻醉與呼吸設備、醫院供氧/制氧設備、分床計費系統)

環保領域、食品加工、科學氣體分析儀器、樓宇自控、保健設備...等

【何謂MEMS(Micro-electromchanical System)？】
MEMS是將微電子技術與機械工程融合的一種工業技術；而MF系列氣體流量計采用MEMS芯片及專利的封裝技術，
相較于傳統的熱式質量流量計，MEMS質量流量計，體積更輕巧、壓力損失小、低功耗、響應速度快、測量結果更精確可靠

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MF5000 質量式氣體流量計/ 質量流量計 / 熱質式流量計 / 熱質式質量流量計技術參數

型號	MF5003	MF5006	MF5008	MF5012	MF5019
流量范圍(SLPM)	0.15~15	0.5~50	1.2~120	3~300	8~800
通徑(mm)	3.0	6.0	8.0	12.0	19.0
接口NPT)	1/8"	1/4"	3/8"	1/2"	3/4"
精確值	±(1.5+0.5FS)%
顯示	瞬時流量、累積流量
響應時間	125ms
電源	12~24VDC,50mA
輸出信號 ※	4~20mA、3.3V脈沖
通訊介面 ※	RS485
最大工作壓力	1.5MPa
機械接口	BSPT 1/4(R1/4)或4mm、6mm、8mm快速接頭
防護等級	IP40(MF5000(e))、IP66(MF5000(E))
環境溫度	-20~60℃
介質溫度	-10~55℃
工作濕度	<95%RH(無結冰、無結露)
防爆 ※	Ex d IIC T4(僅對MF5000(E))

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